應(yīng)用及案例

 

●  低溫容器檢測(cè)

●  大學(xué)/研究所

●  泄漏檢測(cè)

●  環(huán)境監(jiān)測(cè)

●  汽車制造

●  過程工藝氣體測(cè)量

 

產(chǎn)品特色

 

●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數(shù)可控：質(zhì)量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度：可優(yōu)于0.5%

●  可測(cè)范圍廣，0.01~99%

●  滿量程超低壓損為360Pa

●  閥門響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于100ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

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精度升級(jí)

 

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度      ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

質(zhì)量流量高精度         ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

重復(fù)性                       ±（0.1%   讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移      ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移      ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

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性能指標(biāo)

 

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表

                  一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測(cè)量和控制范圍    0.01～99% 

顯示流量    128 %滿量程

可控流量    102.4 % 滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）見上段精度升級(jí)部分

                  ±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復(fù)  性    ±（0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度漂移    0.03%滿量程當(dāng)溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質(zhì)量流量壓力漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于100 ms

預(yù)熱時(shí)間    ＜ 1 s

標(biāo)定工況    25 ℃ & 1Atm（可現(xiàn)場(chǎng)在測(cè)量范圍內(nèi)隨意更改）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力    0.3 MPa表壓，進(jìn)出口允許瞬時(shí)壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ± 0.5 %讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率；

                         模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232 / RS485）

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、 鋁

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

 *如選Profibus，則無模擬信號(hào)，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

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選項(xiàng)配件

待更新。

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安裝手冊(cè)

待更新。

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機(jī)構(gòu)認(rèn)證

待更新。

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尺寸詳圖

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尺寸壓損

 

滿量程質(zhì)量流量控制器	滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中	外觀尺寸	連接接口2
0.5 sccm - 2 sccm	0.06	3.9''H x   3.4''W x 1.1''D	M-5 （10-32）內(nèi)螺紋 （含M-5 （10-32） 外螺紋Buna-N O型密封圈 至1/8''  NPT內(nèi)螺紋）
5 sccm - 10 sccm	0.08
20 sccm	0.07
50 sccm - 200 sccm	0.07	4.1''H x   3.6''W x 1.1''D	1/8'' NPT 內(nèi)螺紋
500 sccm	0.08
1 slpm	0.10
2 slpm	0.18
5 slpm	0.10	5.5''H x   7.7''W x 2.3''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋
10 slpm	0.12
20 slpm	0.26
40 slpm	0.14	5.5''H x   7.7''W x 2.3''D	1/2'' NPT 內(nèi)螺紋
50 slpm	0.17	5.5''H x   7.3''W x 2.3''D	3/4'' NPT 內(nèi)螺紋
100 slpm	0.30
250 slpm	0.69
500 slpm	0.69	5.5''H x   8.1''W x 2.7''D	3/4'' NPT 內(nèi)螺紋
1000 slpm	1.65	6.3''H x   9.8''W x 4.5''D	2'' NPT 內(nèi)螺紋
1、公制當(dāng)量見圖紙。 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。

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產(chǎn)品大圖

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氣體編碼